設(shè)備使用一個(gè)星期后（三班），因鍍料除鍍?cè)诠ぜ�表�?外，亦因無定向性而工作室 內(nèi)的襯板上鍍料，并越鍍?cè)胶瘢�該層膜厚因組織、繞疏松，吸收大量氣體而造成真空鍍膜設(shè)備抽氣越來越慢。此時(shí)，應(yīng)對(duì)工作室及襯板進(jìn)行清洗，如不必要拆落來的部件，可用砂紙打磨干凈，襯板可浸泡在氫氟酸水溶液里，氫氟酸和水的比例看需要浸泡時(shí)間長(zhǎng)短以及不傷襯板為原則。

注：襯板必須烘干水份才能安裝，烘干前，襯板的水分盡量抹干，工作架等部件用砂紙清潔后，需要把真空室的所有灰塵清理干凈，此可用吸塵器吸干凈灰塵。最后安裝襯板時(shí)，真空室及襯板都需要用酒精控拭干凈。

因使用電子槍及離子源輔助鍍膜，可能會(huì)造成清潔困難，可使用噴沙等方法來清潔。